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产品分类
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PNH系列—氨气纯化器

应用领域：

  • 纯化用于半导体、LED应用的氨气

工艺介绍：

  • PNH：通过吸附工序,深度脱除工艺气体中的O2、H2O、CO2、NMHC,纯化和再生模式交替进行,提供对工艺气的连续纯化；
  • PNH：通过现场原位再生和先进技术,以高可靠性、低成本及高性能,有效的脱除NH3中的污染杂质，满足客户现场需求。