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产品分类
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PX系列—XCDA纯化器

应用领域：

  • 纯化用于半导体应用的XCDA

 

工艺介绍：

  • 采用HPC特有纯化材料，通过吸附工序，深度脱除气体中的H2O、CO2、挥发性酸VA、挥发性碱VB、耐熔化合物RC、总有机碳TOC等杂质。
  • 多个吸附器交替吸附、再生，实现对原料气体的连续纯化。