Q9系列—POU纯化器

适用气体

N₂、Ar、H₂、He、O₂、Kr、Ne、CH₄、CDA、

XCDA、CO₂、HCl、Cl₂、HBr、AsH₃、PH₃、

CF₄、C₂F₆、Xe、C₂H₆、C₃H₈、C₄H₁₀、NH₃、

C₂H₄、C₃H₆、C₂H₂、N₂O、D₂、C₂H₇N、

C₂H₈N₂、SF₆CH₃SiH₃、GeH₄、SiH₄、CSiH₆

流量

0.1~100L/min

20~3000Nm³/h

典型应用

电子行业生产线及研发过程

化工研究

分析

焊接